一、超高纯供气系统施工的选型与设计。除简易供气系统外,特气房一般独立于主房之外单独建造,在规划中应考虑建筑物的防火、防爆、防火和防爆间距,并对危险物进行总量控制。传统的供气系统一般也都是在一个气体室内设置...
超高纯供气系统的选择分类;一、简易供气系统。简易供气系统主要针对4英寸及以下半导体晶片厂、半导体材料研究机构和部分单机加工设备等。其生产工艺简单,一般不要求连续供气,燃气供应系统投资预算低。气源中的特殊气...
实验气路:指实验室气体工程中,连接气瓶和仪器端子的管道,一般由气体转换装置-减压装置-阀门-管道-过滤器-报警-端子箱-调整器等部分组成。试验室气路应用气体管道系统主要用于处理高纯度气体或有毒、腐蚀性气体的控制...
与普通工业管道不同,在实验室高纯气体集中供气系统中建设洁净气体管道,要求施工人员严格遵守设计规定和施工技术要求,在施工操作中认真细致。清洁气体管道中的所有高纯度和高纯度气体都必须通过管道输送到仪表点,因此...
在钢铁、金属、化学、食品、制药、科研等各种工业领域的实验或生产过程中,使用氧、氮、氩、氢、氦等各种特殊气体。这些气体大多在运输过程中以高压或低温储存在钢瓶或杜瓦罐中,然后通过减压阀减压,然后输送到各个使用...
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